1. 真空石墨燒結(jié)爐設(shè)備用途

本系列真空爐為周期作業(yè)式，采用石墨管或石墨棒(為發(fā)熱元件，適用于金屬材料，無機(jī)非金屬材料，在真空或保護(hù)氣氛下進(jìn)行燒結(jié)適用，也可用于光學(xué)材料的燒結(jié)提純適用。

2. 真空石墨燒結(jié)爐方案圖

3. 主要技術(shù)參數(shù)

3.1 電源：單相 380V 50Hz

3.2 加熱功率：45Kw

3.3 最高溫度：2000℃ 使用溫度1900℃

3.4 工作區(qū)尺寸：Φ160*160（D*H，mm）

3.5 控溫區(qū)數(shù)：一區(qū)

3.6 控溫方式：鎢錸熱電偶+紅外測溫儀

3.7 控溫精度：±1℃

3.8 冷態(tài)極限真空度：6.67*10-3Pa（空爐、冷態(tài)、烘烤除氣后）

3.10 充氣氣氛：惰性氣體

3.11 充氣壓力：≤0.05MPa

4. 設(shè)備構(gòu)成

5. 結(jié)構(gòu)及功能說明：

    設(shè)備采用立式井式結(jié)構(gòu)，設(shè)備整體設(shè)計(jì)，操作高度相似與桌面高度，操作方便，設(shè)備主要有爐蓋、爐體，爐架、真空系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、爐蓋升降系統(tǒng)，控制系統(tǒng)等組成。

6.1 爐蓋

爐蓋采用雙層不銹鋼（SUS304）水夾層平板結(jié)構(gòu)，與法蘭組焊成一個(gè)整體。其中內(nèi)壁精密拋光，外壁拉絲處理。爐門上設(shè)有冷卻水進(jìn)出口、爐蓋升降連接座等爐蓋電動(dòng)升降，爐蓋及保溫屏整體安裝在升降模組上，升降平穩(wěn)，方便進(jìn)出料。

6.2 爐體

爐體采用雙層不銹鋼（SUS304）水夾層架構(gòu)，與上、下法蘭組焊成筒形結(jié)構(gòu)，上法蘭平面上開設(shè)有燕尾型密封槽，采用O型硅橡膠密封圈密封。爐內(nèi)壁精密拋光，外壁拉絲處理。爐體側(cè)面設(shè)有冷卻水進(jìn)出口、真空抽氣口、熱電偶安裝口等。

6.3 爐底

爐底采用雙層不銹鋼（SUS304）水夾層平板結(jié)構(gòu)，與法蘭組焊成一個(gè)整體。其中內(nèi)壁精密拋光，外壁拉絲處理。法蘭平面開設(shè)有燕尾型密封槽，采用O型硅橡膠密封圈密封。爐底設(shè)有水冷電極安裝孔、自動(dòng)充放氣接口等，爐底與爐體用螺栓聯(lián)接鎖緊。

6.4 爐架

爐架采用型材焊接作為骨架，并配合數(shù)控鈑金，組合成一個(gè)整體，作為整個(gè)設(shè)備的基礎(chǔ)。同時(shí)，一體式設(shè)計(jì)整齊美觀，操作方便。

6.5 加熱及隔熱系統(tǒng)

加熱采用高純石墨作發(fā)熱體，純度高，無揮發(fā)，有效保證爐腔內(nèi)的清潔度。隔熱材料采用石墨成型纖維軟氈，保溫效果好，耐沖擊性好。整個(gè)隔熱屏采用金屬框架固定，便于安裝與維護(hù)。

溫度控制采用熱電偶+紅外儀切換控溫的方式，低溫時(shí)熱電偶直接控溫測溫，高溫時(shí)熱電偶退出，用紅外儀直接控溫測溫。同時(shí)，在隔熱屏外設(shè)置一支監(jiān)控?zé)犭娕?，監(jiān)控隔熱屏外溫度，提高設(shè)備的安全使用性能

6.6 爐蓋升降及鎖緊裝置

采用一臺(tái)蝸輪蝸桿升降機(jī)帶動(dòng)爐蓋及保溫蓋做上升下降運(yùn)動(dòng)，行程300mm左右。升降導(dǎo)向采用一根線性滑軌，與升降機(jī)、鋁型材共同組合成一個(gè)整體。爐蓋與升降機(jī)構(gòu)的連接采用活動(dòng)式連接，保證真空密封。

爐蓋鎖緊采用手輪壓緊的方式，可保證設(shè)備在微正壓下工作。

6.7 真空系統(tǒng)

真空系統(tǒng)采用二級(jí)泵配置，由一臺(tái)K-150油擴(kuò)散泵，一臺(tái)VRD-24機(jī)械泵、氣動(dòng)高真空擋板閥、充氣閥、放氣閥、真空壓力表、真空測量規(guī)管等組成，真空管道與泵的聯(lián)接采用金屬波紋管減緩震動(dòng)，真空度的測量由睿寶數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)執(zhí)行。

6.8 混氣系統(tǒng)

本設(shè)備配置一路充放氣系統(tǒng)，由流量計(jì)、電磁閥、手閥、壓力傳感器、接頭等組成。由壓力傳感器及電磁閥形成閉環(huán)控制系統(tǒng)，可對爐內(nèi)氣氛壓力進(jìn)行控制。當(dāng)爐壓超過設(shè)定值時(shí)，排氣閥自動(dòng)打開，進(jìn)行泄壓。手閥可以根據(jù)實(shí)際情況，適當(dāng)調(diào)整氣體流量。排出的氣體客戶可結(jié)合實(shí)際情況進(jìn)行處理。

6.9 水冷系統(tǒng)

水冷系統(tǒng)由進(jìn)出水總管道、閥門及各支路組成。冷卻水由進(jìn)水總管進(jìn)入后，經(jīng)過各支管送到爐門、爐體、爐底、水冷電極、真空泵、冷阱等這些需要冷卻水的地方，然后匯總到出水總管排出?？傔M(jìn)水管路設(shè)有電接點(diǎn)壓力表，具有斷水聲光報(bào)警并切斷電源功能。各支路水管采用透明塑膠軟管，通過不銹鋼接頭聯(lián)接進(jìn)出水總管道及設(shè)備各進(jìn)出水口。每路冷卻水進(jìn)水管都裝有手動(dòng)閥門，可手動(dòng)調(diào)節(jié)水流量大小?？蛻艨芍苯舆x用水冷機(jī)做為冷卻系統(tǒng)的水源，循環(huán)冷水機(jī)用戶可自行選配或者委托我公司代買。

6.10 控制系統(tǒng)：

     控制加熱系統(tǒng)有可控硅調(diào)壓器+低壓高流大功率變壓器+測溫裝置，組成閉環(huán)控制系統(tǒng)，溫度儀表采用程序儀表帶PID自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，帶自整定自我調(diào)整能力。穩(wěn)定可靠，控制精度高。設(shè)備整體配有操作模擬屏，控制系統(tǒng)的操作都集中在上面，直觀明了，操作簡單可靠。同時(shí)如有需要控制系統(tǒng)可升級(jí)采用PLC+觸摸屏的方式，溫度真空數(shù)據(jù)可記錄可查詢，曲線可現(xiàn)實(shí)，數(shù)據(jù)可保存可導(dǎo)出，溫度程序數(shù)據(jù)可編譯可保存可調(diào)用。控制系統(tǒng)集中安放在爐架的一側(cè)箱體內(nèi)，整結(jié)大方，維修方便，所有器件均采用施耐德，西門子等，保證使用安全?？刂葡涔裆隙加邪踩举N，安裝接線標(biāo)準(zhǔn)化制作。

6.11 變壓器及連接電纜

選用與使用功率相匹配的干式隔離變壓器及電纜。